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中科院微電子所與愛發科聯合實驗室簽字儀式在京舉行
發布時間:2017-06-16    作者:kjhzb    文章來源: 中科院微電子研究所

2017年6月14日下午,中國科學院微電子研究所與日本愛發科集團聯合實驗室簽字儀式在中科院微電子所會議室隆重舉行。中科院微電子所所長葉甜春,副所長劉新宇,處長王文武,愛發科集團代表取締役執行役員社長小日向久治,執行役員齊藤一也,室長鄒弘綱,愛發科(蘇州)技術研究開發有限公司總經理楊秉君等領導以及來半導體領域的各企業專家包括北京耐威科技、歌爾聲學股份、中芯國際、上海華宏宏力、華潤微電子、中科微機電技術、中科漢天下、華進半導體封裝公司等研究者共約50多人出席并見證了簽字儀式。

株式會社ULVAC是以在各領域獲得廣泛應用的真空技術為基礎,以開創精細加工工藝為追求目標的研究開發綜合企業。其產品從FPD,電子半導體,太陽電池作用的真空設備到標準零部件,材料及真空鍍膜等業務。目前在中國已經設立了15家公司,未來在中國的投資還會不斷擴大,在以電子技術和通訊技術為首的包括能源、環保、運輸、醫藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領域中,株式會社ULVAC以設備生產為中心,提供先進的真空技術產品,優質完善的服務,不斷滿足顧客的需求。

葉甜春所長致辭

這次成立聯合實驗室,雙方運用中科院微電子所擁有的微電子器件有關的技術和愛發科集團擁有的與真空鍍膜設備及工藝技術有關的技術,在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器領域,針對開發主題共同實施開發,互相協助力求其實用化。雙方一致認為,雙方具有非常強的優勢互補關系,是充分發揮雙方各自特長、實現產學研無縫對接、可同時滿足核心技術研究和產業化需要的最佳途徑。雙方將成立聯合實驗室,在資源共享、技術開發、人才交流與培訓等方面進行深入合作,以支持和推動在相關核心技術方面的研究和積累。聯合實驗室將成為雙方合作的窗口和新技術科研成果的實驗基地。

聯合實驗室將利用ULVAC制造 SME-200型濺射設備開展微電子工藝開發,ULVAC SME-200設備是一款多功能濺射設備,最多可以搭載八個腔室,可針對研究開發和少量生產用途,在8inch Si基板上進行沉積金屬,氧化物,氮化物薄膜等先進材料,設備可實現全自動搬送、數據自動存儲、保證工藝結果穩定性等功能。通過利用該設備,雙方將在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器等領域展開工藝研發合作。

小日向久治社長致辭

聯合實驗室的成立,體現了愛發科集團大力推進本土化產業的戰略方針。與中科院微電子所共同合作,針對中國正在大力發展的電子半導體產業,提高研發實力,加快推進前沿技術產業化,以產學研結合的模式,實施人才與科技創新雙輪驅動戰略,為國內的半導體企業提供技術支持、工藝驗證的平臺。

這次簽字儀式的獲得圓滿成功,期待著愛發科集團與中科院微電子所合作的積極進展結果,將推動中國半導體MEMS傳感器技術實現跨越式發展。


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